(1)初创阶段1951年中国的北京化学工业试验所开始研究有机硅。但甲基氯硅烷的开发是在该所搬迁到沈阳化工研究院后开始的。经过自主开发，1957年沈阳化工研究院建成了甲基氯硅烷中试装置，用搅拌床以氯甲烷、硅粉为原料，氯化亚铜为催化剂合成甲基氯硅烷，可一次获得数十千克的甲基氯硅烷单体。该院用此单体和其他中间体探索合成出多种有机硅材料。

　　(2)工业性生产阶段沈阳化工研究院有机硅专题搬迁到北京化工研究院后，与上海树脂厂在1971年合作开发成功中国第一台合成甲基氯硅烷的直径为400mm的流化床，为中国有机硅工业的发展打下基础。之后，国内有多台规模更大的流化床投入生产，使全国甲基氯硅烷的产能从数百吨级扩到数千吨级。“七五”期间，国家投资在江西星火化工厂动工兴建1套万吨级有机硅工业性试验装置。到1994年打通了工艺流程，1998年单体产量达到设计能力。以后星火厂不断扩大规模：2万吨、5万吨，“七改十”后达到10万吨规模。吉化公司电石厂在1985年建成投产的甲基氯硅烷流化床基础上，不断改造、更新，生产能力达到5万吨。新安化工集团公司是在1984年引进技术，利用农药副产氯甲烷作原料生产甲基氯硅烷。后与中蓝晨光化工研究院等单位合作，陆续增建流化床，规模不断扩大，产能近10万吨。

　　(3)甲基氯硅烷的产量和工艺水平大大提高1997年由于星火化工厂、吉化公司电石厂、新安化工集团和北京化工二厂(因搬迁于2004年停产)共同努力，全国甲基氯硅烷总产量突破了万吨大关。进入新世纪后，各厂不断地完善工艺、扩建和增建装置，总产量于2003年突破了10万吨；2006年实际产量超过20万吨。与此同时，衡量甲基氯硅烷生产水平的二甲基二氯硅烷的选择性都在85%左右。说明中国人开始掌握了合成反应的内在规律，具备自我增加单体产量的能力。

　　(4)遭遇倾销进入新世纪，正当中国的有机硅工业蒸蒸日上、欣欣向荣的时刻，几大有机硅跨国公司不愿意看到中国有机硅工业的成长和发展，于是他们联手合作，运用走私和低价倾销等手段与中国企业展开不正当的“竞争”。2002年和2003年使正常发展中的中国有机硅工业陷入了困境。

　　(5)反倾销使中国有机硅工业转危为安在中国星火化工厂等三家受害企业的申诉下，国家商务部于2004年开始了反倾销申诉的立案调查，于2005年完成了终裁，并公告从2006年1月16日起对原产于日本、美国、英国和德国进口的“初级形态二甲基环体硅氧烷”征收13%～22%不等的反倾销税。这一有力的反倾销措施不仅使中国几乎濒临破产的有机硅生产企业起死回生，而且还促进了一些搁置的扩建、新建项目的上马。

　　(6)到“十一五”期末的产能“十一五”末的产能，比较落实的有：星火化工厂总产能20万吨；新安江20万吨(含新安与迈图的装置)；吉化未有扩产的报道。民营企业江苏宏达新材料股份有限公司和江苏梅兰集团都称有俄罗斯技术的3万吨/年的项目；浙江合盛6万吨。此外，山东、天津、浙江、河北、重庆、四川、山西等地都有建厂的信息。还有，蓝星收购罗地亚有机硅业务后将在天津建厂，届时，全国甲基氯硅烷的产能不少于60万吨。

　　(7)隐忧国家发改委2006年3月批准的外商独资、40万吨单体规模、全能性的张家港基地的建设，无疑会对我国有机硅工业产生影响。